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超快激光精密蚀刻
● 配备高功率激光器、高精度振镜、场镜/贝塞尔切割头,产生圆度高、尺寸小(<3μm)的焦点光斑,实现熔融玻璃、晶圆、PI膜等材料的高精度、高效率、高深宽比(>100:1)切割、划片、制孔等蚀刻加工。
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