飞秒激光蚀刻设备

产品名称：飞秒激光蚀刻设备

主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻，采用飞秒激光刻蚀设备，适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀，可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工，也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。

设备特点与优势：

l采用飞秒激光器，超短脉冲加工几乎无热传导，适用于任意有机&无机材料的高速钻孔，可实现复杂曲面的空间角度微结构加工；

l孔壁整齐、无毛刺、无重铸层，无微裂纹和冶金缺陷； 

l更高的单脉冲能量，更高的加工精度，可对几乎任何固体材料实现精细加工； 

l对材料无选择性，无应力。 

技术参数

样品展示

陶瓷全自动tray类激光打印

硅片/金属tray类激光打印

树脂tray类激光打印

设备特点与优势：

l采用双路激光加工模组，提升设备工作效率。

l支持2D Mark功能，支持任意自定义字体 编辑导入； 

l可根据Tray Mapping进行分区域打印，单颗不良品超出设定之后报警提示； 

lVISION系统具备自动防反、偏盖检测及打印质量自动检测等功能； 

l采用Tray盘自动上下料方式，料盒自动Load/Unload机构，抓取式运料，无人值守全自动运行，批量化生产。

l支持SECS/GEM通讯，可与上、下游设备及服务器进行通讯，支持远程控制和数据上传。

设备特点与优势：

l采用双路激光加工模组，提升设备工作效率。

l支持2D Mark功能，支持任意自定义字体 编辑导入； 

l可根据Tray Mapping进行分区域打印，单颗不良品超出设定之后报警提示； 

lVISION系统具备自动防反、偏盖检测及打印质量自动检测等功能； 

l采用Tray盘自动上下料方式，料盒自动Load/Unload机构，抓取式运料，无人值守全自动运行，批量化生产。

l支持SECS/GEM通讯，可与上、下游设备及服务器进行通讯，支持远程控制和数据上传。

陶瓷全自动tray类激光打印

硅片/金属tray类激光打印

树脂tray类激光打印