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福建飞秒激光蚀刻设备

福建飞秒激光蚀刻设备

  • 所属分类:福建飞秒激光亚微米刻蚀设备
  • 适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。
  • 产品概述
  • 设备特点
  • 激光设备优势
  • 技术参数
  • 行业应用
  • 样品展示

产品名称

飞秒激光蚀刻设备


设备描述

主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽



设备特点

●采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工;

孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷;

更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工;

对材料无选择性,无应力。


技术参数

技术参数

激光器红外/绿光/紫外飞秒

功率

20w

最大加工幅面

700×700mm² 

重复定位精度

X &Y: ≤±0.1 μm;Z: ≤±3 μm

视觉定位精度

≤±0.15 μm

综合加工精度

≤0.5 μm

定深刻蚀精度

≤1 μm 

最小线宽

0.2 μm ~ 2 μm可调

设备总功率

15kW

环境温度

22±3℃

相对湿度

30%~65%,不结露


样品展示

                             



设备特点

●采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工;

●孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷;

●更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工;

●对材料无选择性,无应力。



设备优势

飞秒冷却激光:飞秒冷却去除,无热作用,多种材料加工灵活性好,对材料无旋转性。

激光切割无应力:物质遇光升华,无需接触,直接打断材料分子键使作用区域材料瞬间电离,在微观尺度下进行材料去除,免除应力破坏困扰。

热影响精确控制:根据不同的热影响要求,选择适合的光源,配合适合的激光加工参数,最大限度降低热影响;

洁净加工:激光加工过程中实时进行激光烟尘处理,经过除尘过滤将有害物质、异味或是微尘过滤,达到可排大气要求。


技术参数

技术参数

激光器1030nm/515nm/343nm

激光功率

10w/20w

加工幅面

350mm*350mm(可定制) 

CCD视野范围

4mm*6mm

CCD定位精度

±3um @150万像素

X/Y 轴定位精度

≤±3μm

X/Y 轴重复定位精度

≤±1μm 

输入文件格式

支持dxf、cad

综合切割精度

±15μm

设备功率

15 kw

环境温度

22±3℃

相对湿度

30%~65%,不结露



行业应用

主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽

样品展示

                             




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