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肇庆飞秒激光蚀刻加工设备

肇庆飞秒激光蚀刻加工设备

  • 所属分类:肇庆飞秒激光亚微米刻蚀设备
  • 超快飞秒激光微孔加工设备采用进口激光器,主要针对曲面、复杂型面零部件的超精细冷加工蚀刻,采用飞秒激光刻蚀设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。
  • 产品概述
  • 设备特点
  • 激光设备优势
  • 技术参数
  • 行业应用
  • 样品展示

产品名称:飞秒激光蚀刻加工设备

设备特点:

采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工

孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷

更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工

对材料无选择性,无应力


激光设备优势

飞秒冷却激光皮秒冷却去除,无热作用,多种材料加工灵活性好;

激光切割无应力:物质遇光升华,无需接触,免除应力破坏困扰,专用载具配合激光加工,即使元器件距离切割道非常紧密,也无应力影响,快速分板;

热影响精确控制:根据不同的热影响要求,选择适合的激光器种类,配合适合的激光加工参数,最大限度降低热影响;

洁净加工:激光加工过程中实时进行激光烟尘处理,经过除尘过滤将有害物质、异味或是微尘过滤,达到可排大气要求。


技术参数


技术参数

激光器

飞秒激光器

中心波长

1030nm

输出功率稳定性

<0 .5% RMS @ 24小时

CCD视野范围

4mm*6mm

CCD定位精度

±3um @150万像素

X/Y 轴定位精度

±2μm

X/Y 轴重复定位精度

±2μm

X/Y 轴定位精度

±2μm

X/Y 轴重复定位精度

±2μm

输入文件格式

支持dxf、cad

加工方式

振镜

综合加工精度

±15μm

最大加工幅面600mm*600mm

工作时间

7*24h

环境温度

22℃±3℃

相对湿度

55%±10%


行业应用

超快飞秒激光蚀刻设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。

● 贵金属精密激光加工           ● 异形孔激光加工

● 盲孔的激光精密加工           ● 群孔微孔激光精密加工


样品展示











设备特点:

采用飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适用于任意有机&无机材料的高速钻孔,可实现复杂曲面的空间角度微结构加工

孔壁整齐、无毛刺、无重铸层,无微裂纹和冶金缺陷

更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工

对材料无选择性,无应力


激光设备优势

飞秒冷却激光:皮秒冷却去除,无热作用,多种材料加工灵活性好;

激光切割无应力:物质遇光升华,无需接触,免除应力破坏困扰,专用载具配合激光加工,即使元器件距离切割道非常紧密,也无应力影响,快速分板;

热影响精确控制:根据不同的热影响要求,选择适合的激光器种类,配合适合的激光加工参数,最大限度降低热影响;

洁净加工:激光加工过程中实时进行激光烟尘处理,经过除尘过滤将有害物质、异味或是微尘过滤,达到可排大气要求。


技术参数

技术参数

激光器

1030nm/515nm/343nm

激光功率

15w/30W

加工幅面

600mm*600mm

CCD视野范围

4mm*6mm

CCD定位精度

±3um @150万像素

X/Y 轴定位精度

±3um

X/Y 轴重复定位精度

±2um

X/Y 轴定位精度

±3um

X/Y 轴重复定位精度

±2um

输入文件格式

支持dxf、cad

加工方式

振镜

综合加工精度

±15um

最大加工幅面600mm*600mm

工作时间

7*24h

环境温度

22℃±3℃

相对湿度

30%~65%,不结露

电气

激光系统:AC单相220V±10%, 50Hz;功耗:15A

抽尘系统:AC三相380V±10%, 50Hz;功耗:10A


行业应用

超快飞秒激光蚀刻设备,适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀,可实现高温合金、金属、非金属、特别是复合材料表面的微结构加工,也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。

● 贵金属精密激光加工           ● 异形孔激光加工

● 盲孔的激光精密加工           ● 群孔微孔激光精密加工


样品展示











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