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亚微米刻蚀解决方案
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中间辊轮刻蚀 材质：金属 刻蚀深度：60-80um 刻蚀间距：60-80um | 铂铱合金表面微结构刻蚀 材质：铂铱合金 刻蚀深度：0.007mm 刻蚀宽度：0.005mm | 金属流道刻蚀 材质：不锈钢 深度：0.1mm士0.1mm 宽度：0.260mm士0.01mm | |||
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不锈钢圆柱刻蚀 材质：不锈钢 深度：40um±0.001mm 宽度：35um±0.001mm | 玻璃盲孔刻蚀 材质：石英玻璃 深度：20um R角：0.6 | 玻璃刻蚀微流道刻蚀 材质：玻璃 深度：0.04mm±0.005mm 精度：0.001mm | |||
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穿刺针表面微结构加工 材质：SUS 306 深度：0.04mm±0.005 | 玻璃表面蚀刻 材质：熔石英 精度：±0.02mm | 晶圆标刻 材质：硅 位置精度：±0.05mm | |||
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1.5mm石英玻璃通孔加工 材质：石英玻璃 孔径：0.2±0.002mm 入口倒角（R）：≤0.025mm | 玻璃刻蚀加工 材质：玻璃 深度：77μm 宽度：169μm | 石英玻璃盲槽刻蚀 材质：石英玻璃 深度：0.4mm 精度：0.001mm | |||
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